Трехкоординатная высокопроизводительная система ультразвукового нанесения различных покрытий

Prizm500.jpg
Цена по запросу

Установка Prism 500 представляет собой 3-х координатный робот и предназначена для нанесения покрытий широкого спектра назначений в лабораторных условиях или на производстве. Во всех системах нанесения покрытий USI реализована технология ультразвукового распыления без применения форсунок, что обеспечивает более тонкое и точное нанесение покрытия, чем обычные распылительные сопла и каплеструйные технологии или пленочные и рулонные покрытия.

Преимущества технологии:

  • тонкие покрытия без дефектов;
  • субмикронные толщины покрытия;
  • использование материала на 95...99%.

Применение:

  • производство полупроводников;
  • производство топливных ячеек;
  • производство дисплеев;
  • медицина;
  • производство солнечных панелей (фотоэлементов);
  • фотолитография (нанесение фоторезиста).

Стандартная комплектация:

  • привода X-Y-Z;
  • графический пользовательский интерфейс на основе ОС Windows;
  • система контроля движения на основании локальной сети;
  • программируемое перемещение по осям XYZ+поворот;
  • система управления на основе ПК с монитором и "мышью";
  • соответствие стандартам CE/NFPA 79;
  • закрывающиеся двери с датчиками и цепями безопасности;
  • щеточные сервопривода постоянного тока с замкнутой петлей контроля перемещения;
  • привода X-Y на прецизионных шарико-винтовых парах;
  • лазерный указатель для программирования;
  • контроль вытяжки с цепью обеспечения безопасносного использования;
  • емкость для растворителя и продувки/стравливания.

Система комплектуется головкой для нанесения покрытий, модель Ultra-Spray CAT-35 ILDS - Dual Mode в комплекте:

  • ультразвуковая распылительная головка в сборе;
  • ультразвуковой генератор;
  • электромагнитный клапан для вкл/выкл потока жидкости;
  • прецизионный регулятор воздушного потока.

Конфигурация системы подачи жидкости:

  • прецизионный насос-дозатор с шаговым двигателем (вместимость помпы 100 мл);
  • распылительный носик Whip Line - малый 062 Minstac;
  • распылительный носик Whip Line - большой 156 Minstac.

Конфигурация машины:

  • пневматически поворачиваемая на 90º двухрежимная УЗ-головка;
  • ПК с плоским монитором и мышью;
  • подогреваемая до +150°C плата 400 x 400 мм.

Примеры применения:

Нанесение паяльной маски на гибкие подложки (платы);

Нанесение серебросодержащего проводящего покрытия на кремниевую подложку;

Нанесение покрытий в производстве топливных ячеек;

Нанесение фоторезиста на кремниевую подложку.